耐火材料能谱分析准确性讨论

摘 要 采用扫描电镜—能谱组合时耐火材抖进行微区成分分析时，除了对由能谱能量分辨率引起的谱线峰重叠及峰干抚等问题外，还应对由其空间分辨率所引起的分析结果不准确问题予以重视。本文主要从能谱的空问分辨旱考虐，结台一些分析实例，来讨论能谱对耐火材料样品进行分析时，所选取的分析点对结果准确性的影响。